CVD RF、電漿鞘、cvd製程在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說
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CVD RF在化學氣相沉積與介電質薄膜的討論與評價
確認至少四種化學氣相沉積(CVD) 的應. 用. • 描述CVD 製程順序 ... CVD 和SOG 加上CVD 介電質. • 淺溝槽絕緣(STI). • 淺溝槽絕緣(STI) ... RF 在摻雜氣體中引發電漿場.
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