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何謂薄膜製程、cvd公司、cvd原理在PTT/mobile01評價與討論,在ptt社群跟網路上大家這樣說

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PVD顧名思義是以物理機制來進行薄膜湚積而不涉及化學反應的製程技術,所謂物理機制是物質的相變化現象,如蒸鍍(Evaporation),蒸鍍源由固態轉化為氣態,濺鍍(Sputtering) ...

何謂薄膜製程在薄膜- 維基百科,自由的百科全書的討論與評價

在高真空的容器中、將欲沉積的材料加熱直至汽化升華、並使此氣體附著於放置在附近的基板表面上、形成一層薄膜。依沉積材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 ...

何謂薄膜製程在晶圓的處理-薄膜的討論與評價

處理製程. • 氧化. • 化學蒸氣沉積. • 濺鍍. • 擴散. • 離子植入. 蒸發. • 蒸發. • 熱處理. Page 6. 氧化(oxidation). • 熱氧化法. • 薄膜堆積法:使用化學蒸氣沉.

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