CVD PVD、cvd原理、何謂薄膜製程在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說
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CVD PVD在應材推出CVD／PVD新技術| SEMI的討論與評價
應材推出CVD／PVD新技術. 新聞來源: 工商時報(2014.6.10). 全球最大半導體設備廠應用材料宣布推出Endura Volta化學氣相沉積（CVD）鈷金屬系統，藉由鈷金屬來包覆銅 ...
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CVD PVD在常見真空鍍膜技術 - 永源科技的討論與評價
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CVD 與PVD的比較. ( c ). ( d ). PVD的缺點︰. ▫ 階梯覆蓋(Step coverage)能力較差(CVD>濺鍍>真空蒸鍍. >E-gun). ▫ 沈積薄膜的純度不易控制(蒸鍍時坩鍋材質亦會析出 ...