PECVD 氣體、ASM CVD、pecvd優點在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說
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PECVD 氣體在PECVD報告的討論與評價
PECVD 報告 www.tool-tool.com. Page 2. PECVD工作原理. 腔體內有上下兩塊電極，工件 ... 反應氣體則是由沈積腔外緣處. 導入，流動通過輝光放射區域，.