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pecvd中文在化學氣相沉積- 維基百科,自由的百科全書的討論與評價

電漿增強化學氣相沉積法(Plasma-Enhanced CVD,PECVD):利用電漿增加前驅物的反應速率。PECVD技術允許在低溫的環境下成長,這是半導體製造中廣泛使用PECVD的最重要原因。

pecvd中文在PECVD_百度百科的討論與評價

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